金刚石表面氢终止形成的化学反应机制论文金刚石表面氢终止形成的化学反应机制论文 金刚石体材料由于具有高的禁带宽度最高的热导率以及极高的电子饱和迁移速率, 成为继第三代半导体GaNSiC之后的 半导体.1,2众所周知, 常规的金刚石材料属于绝缘, 但是物理刻蚀将导致金刚石表面粗糙度增加， 对p型导电沟道
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1、金刚石表面氢终止形成的化学反应机制论文金刚石表面氢终止形成的化学反应机制论文 金刚石体材料由于具有高的禁带宽度最高的热导率以及极高的电子饱和迁移速率, 成为继第三代半导体GaNSiC之后的 半导体.1,2众所周知, 常规的金刚石材料属于绝缘。
2、 但是物理刻蚀将导致金刚石表面粗糙度增加， 对p型导电沟道不利。
11,12为此， 认清氢原子与金刚石表面的物理化学反应， 获得金刚石表面形成氢终止机制对于指导适用的金刚石表面氢化工艺， 进一步推动基于氢终止金刚石构建高功率微波电子器件具。
