Applied Materials Baccini单晶硅丝网印刷线说明书.docx
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AppliedMaterialsBaccini单晶硅丝网印刷线说明书
1File
Thefirstdrop-downmenuavailableintheBaccinisoftwareis1-File.(SeeFigure1-1)
在Baccini软件第一个下拉菜单是1-file。
(见图1-1)
Figure1-1.1-FileDrop-DownMenu
1.111-Open
Inthispagetheusercanselecttheworkfilecontainingtheprintingparameter,thecycleoptionandthevisionsystemconfiguration.
在该页中,用户可以选择包含打印参数、周期选择和视觉系统配置的工作文件。
Figure1-2.FindDirectoryandFile
Table1-1.
Field/Button项目
Description描述
Drop-downMenu下拉式选项屏[窗单]
Workfilesavailable
LoadData加载资料
Loadsthefileselectedinthedrop-downmenu
在下拉菜单中选中资料加载
Exit退出
Cancelsselectionandclosesthewindow
取消选择并关闭窗口
1.212-FileSave保存文件
ThiscommandsavestheactualparameterofthemachineintheDataProg(thelastprogramloaded)file.
这个命令把机器的实际参数保存在最后载入的文件中
1.313-FileSaveAs文件另存为
Thispageallowssavingworkfiles;inthispageyoucanselecttheworkfileortypeanewfilenameandsavetheprintingparameters,thecycleoptionandthevisionsystemconfiguration.
TypethenamethenclickSave,orCancelifyouwanttoexitthewindow.
这个界面可以保存工作文件,在这个页面可以选择原有工作文件或输入一个新的文件名,然后保存印刷参数、循环选项、影像系统设置。
在如图中的对话框中选择这需要的文件后,点击Save保存文件或点击Cance退出这个窗口
1.414-Exit退出
WiththiscommandyoucanclosetheprogramandgotoDesktopWindows.Thisoptionisenabledbythehigh-levelpassword.
这个命令可以关闭程序并退出到桌面窗口,这个选项必须输入高级的口令
2Machine机器
2.121-Cycle循环
Figure2-1.CyclePage
Cyclepagecontainsallparametersthatarenotrelatedtoaparticularscreen,butareratherconsideredmachineparameters,suchas"EnablePrinting","EnableLoader","EnableOvenHeating",etc.
Commandsofthispageareexplainedbelow:
循环页面包含除了有关特殊网板之外的所有机器参数,如“Enableprinting”,“Enablemagazineloader”,“Enableovenheating”之类。
如下所列:
Table2-1.21CyclePage
Field/Button\
Parameter
Description
MainSetting
主要设置
EnableLoader
上料有效
Enablesordisablesuseofttheloaderstation.Whenthisoptionisdisabledcellsarenolongerloadedfromthecassette
EnablePrinting
印刷有效
Enablesordisablestheprintprocedure.Whenthisoptionisdisabled,theprintprocedureisskippedandcellsareloaded,alignedandunloadedfromthetablewithoutbeingprinted.(PasswordRequired)
这个选项不勾选时,印刷过程被跳过,硅片放到印刷台面上对齐(如“Alignment”选项被选取)后直接出料。
(需要输入口令)
EnableBufferCent.DeviceX,Y,T启动缓冲装置
Enablesordisablesthedeviceusedforaligningwafersbeforetheyareplacedinthebuffer.
EnableVisionCent.DeviceX,Y,T启动视觉装置
Enablesordisablesthedeviceusedtocenterthewaferbeforetheinspectionunit.(Whenavailable)
EnableOvenHeating
允许炉子加热
Enablesordisablestheovenheatingelements(PasswordRequired)
允许或不允许炉子加热(需输入口令)
EnableBuffer1/2
允许缓冲
Enablesordisablesthebufferdeviceaftertheprintingmachine.When"Buffer1/2"isdisabled,waferspassthroughitwithoutstopping.
EnableFlip-Over
翻转有效
Enablesordisablesthecellsflip-overdevice
这个选项不勾选时,翻转器不工作,电池进入下工序前不被翻转
MatrixInspectionUnit
矩阵检测单元
EnableInspectionUnit
启动检查单元
Enablesordisablesinspection.
EnableLowerLight
启动低光
Enablesordisableslowerinspectionlight
EnableRejectInspection
启动拒绝检查
Enablesordisablestheoptionofrejectingcellswheninspectionresultisnegative
InspectionFrequency
检查频率
Thevaluedisplayedinthefirstboxisthefrequencyofcellstesting;thevalueinthesecondboxisthecellscountsincelasttesting.
RejectFrequency
拒绝频率
Thevaluedisplayedinthefirstboxisthefrequencyofcellsrejectinspection;thevalueinthesecondboxisthecellscountsincelastinspection.
LinearInspectionUnit
线性检查单元
EnableInspectionUnit
启动检查单元
Enablesordisablesinspection.
EnableLowerLight
启动低光
Enablesordisableslowerinspectionlight
EnableRejectInspection
启动拒绝检查
Enablesordisablestheoptionofrejectingcellswheninspectionresultisnegative
InspectionFrequency
检查频率
Thevaluedisplayedinthefirstboxisthefrequencyofcellstesting;thevalueinthesecondboxisthecellscountsincelasttesting.
RejectFrequency
拒绝频率
Thevaluedisplayedinthefirstboxisthefrequencyofcellsrejectinspection;thevalueinthesecondboxisthecellscountsincelastinspection.
VisionSetting
时间设置
EnableWaferAlignment
硅片校准有效
Thisoption,whenenabled,allowsthecelltobealignedbycamerasbeforetheprintprocedure.Thescreenisalignedonthecellregardlessofthepositionofthecellloadedonthetable.Whentheoptionisdisabledthepositionofthepiecewon'tbechecked.(Passwordrequired)
这个选项允许在印刷之前通过摄像来校准硅片。
每个电池片是否印刷在同一位置取决于它在印刷台面上的位置。
如取消这个选项,电池位置不会被检查(需要输入口令)
EnableScreenAlignment
网板位置校准有效
Thisoption,whenenabled,allowslocatingthefiducialmarksonthescreenwheneverthescreenischangedorsimplyunlockedandlocked.(Passwordrequired)
这个功能对网板上的基准标记进行定位,当更换网板或网板被解锁和锁定后进行(需输入口令)
CheckBreakageBefore
印刷前检查硅片完整性
Thisoptionenablesordisablesthepossibilitytocheckthecellforbreakagesbeforeprinting.
这个功能允许检查硅片在印刷前是否破碎
CheckBreakageAfter
印刷后检查硅片完整性
Thisoptionenablesordisablesthepossibilitytocheckthecellforbreakagesafterprinting
这个功能允许检查硅片在印刷后是否破碎
CheckPaperDirty
检查文件脏污
Thisoptioniscurrentlynotavailable
PaperChange
Nest1,Nest2,Nest3,Nest4,SetNumber(Num)
Thisisa"watchdog"counter.Whenthenumberofpiecesprintedinanypositiongetsthenumbersetinthefield"Num"themachinestops,warningtheoperatorthatpaperchangingisrequiredinthatposition.
Settingzero(0)disablesthe"watchdog".
这是一个看门狗计数器,当任何一个印刷台面的印刷次数达到设置的数字时,机器停止运行,提醒操作人员更换台面纸。
设置为0时取消这个功能
PieceDimension
硅片尺寸
SingleNest
单台面印刷
Enablesthesinglenestmodebyforcingthemachinetoprintonlyinonenest.Fornormaloperation,zero(0)mustbeset(allpositions).
强制机器只在设定的那个台面上印刷。
正常模式下应设定为0
Length
长
Displaysthelengthofthecell(inmicrometers).ItcanbemodifiedonlywhenmachinesAandBarebothinmanualmode
只能在机器A和B都在手动模式下进行修改
Width
宽
Displaysthewidthofthecell(inmicrometers).ItcanbemodifiedonlywhenmachinesAandBarebothinmanualmode.
只能在机器A和B都在手动模式下进行修改
ChangePieceSize
改变片尺寸
BypressingthisbuttonthemachinewilladjustthepositionoftheaxisaccordingtothevaluessetontheLengthandWidthfields.Whenthelengthismodified,alsothewidthneedstobeadjusted.Thisoperationcanbedoneonlyinmanualmodeandmustbefollowedbymachinereset.
点击这个按钮会调整电机的位置根据长度和宽度的值。
这个功能只能在手动模式下进行,并且机器必须进行复位
Dispenser
分配器
Frequency
频率
Showsthenumberofpiecesprintedafterthelastdispenseractivation
显示上次分配器激活后的打印件的数量
Set
设置
Allowssettingthefrequencyatwhichpasteloadingisautomaticallyactivated.Zero(0)meansdisablingthedispenser.Thedispensercanalsobeactivatedinmanualmodebypressingtheappropriatebuttonontheswitchboard
可以设置自动添加浆料的频率。
0表示取消自动加浆料。
PiecePrinted框中是最后一次添加浆料以来印刷的次数。
这个功能也可在手动模式下通过按“PROPE”键来打开
InkWeight
墨水重量
Frequency
频率
Showsthenumberofpiecesprintedsincethelastdeviceactivation.
Set
设置
Allowssettingthefrequencyoftheweightprocedure.Settingittozero(0)meansdisablingtheInkWeightMeasurementdevice(balance).
CycleTime
循环时间
RealCycleTime
实时循环时间
Showsmachinelatestcycletimefor"Print"and"Oven".
SetPrinting/OvenCycleTime
设置印刷/烘烤循环时间
Allowssettingthedesiredmachinecycletime.(Passwordrequired)
机器的生产效率决定于行走臂的循环时间。
操作人员在右下方的方框内能设定这个时间,在左边的框内能读到所有行走臂的真实循环时间(需要输入口令)
Confirm确认
Savesnewsettings
Restore还原
Restoreprevioussavedsettings.
Exit出口
Cancelunsavedchangesandclosesthewindow.
2.222-PrintParameters
Figure2-2.PrintParameters
Thispageshowsasetofparametersinvolvedintheprintprocedure,likesnap-off,squeegeepressure,printcycleandothers.
Theycanbeloadedorsavedmanuallyinthe"Save/Loaddata"page(61)andthemachine,whenstarted,automaticallyloadsthefilethatwasusedtheprevioustime.
Commandsofthispageareexplainedbelow:
在这个页面列出了一系列有关于印刷过程的参数,如印刷间距、括刀压力、印刷循环等。
这些参数能被手动的载入和保存,见菜单2.2。
当机器启动时自动载入最近一次使用的文件。
如下所列
Table2-2.PrintParameters
Field/Button\
Parameter
Description
PrintType
印刷类型选择
AlternateSqueegee
交替印刷
Whenthisprinttypeisselected,themachineprintseverycellbyasinglealternateforwardandbackwardmovement.
通过括刀一次移动(往前或往后)在每个电池上印刷一次
DoubleSqueegee
印刷两次
Whenthisprinttypeisselected,eachcellisprintedtwice,firstinforwardandtheninbackwarddirection.
通过括刀来回移动(往前再往后)一个循环在每个电池上印刷二次
SqueegeeandFlood
先印刷再回料
Whenthisprinttypeisselected,eachcellisprintedfirstintheforwarddirectionandthen,whilethetableiscomingbacktounloadit,theinkisfloodedbythefloodblade
先括刀往前移动,印刷一次,然后回墨
FloodandSqueegee
先回料再印刷
Whenthisprinttypeisselected,theinkisfloodedbythefloodbladeandthenthecellisprintedinforwarddirection.
先回墨然后括刀往前移动,印刷一次
Screen
关于印刷过程的一些参数
SetupSensor传感器安装
Displaysthedistancebetweenscreenandnest.
Snap-OffPosition
丝网间距
Showsthedistancebetweenthecellandthescreenwhileprinting.
NOTE:
thedistanceisconnectedtotheZaxismovement,whichispositivedownward;thesnap-offpositionvalue,therefore,isnecessarilyanegativenumber
这是印刷时电池到网板的距离。
这个参数关系到Z向电机的运动,因为向下是正向,所以这个参数是一个负数
ParkPosition
网版正常停止位置
Thisisthedistancebetweenthecellandthescreenafterprinting.
Likesnap-offposition,itsvalueisnegative.
这是印刷完成后电池到网板的距离,这个参数也是个负数
SpeedUpward
网板上升速度
ItistheZaxis(screenholder)speedwhilemovingupwardsfromprintpositiontoparkpositionafterprinting
这是Z向电机在印刷完成后从印刷位置向上移动至停止位置的速度
Move
Moveszaxismotortothepositionset.
Squeegee
刮条
在印刷期间以下参数需要由使用者来设置
PressureMode
压力模式
Thisoptionenablesordisablespressureduringtheprintingoperation.Themachinewillworkusingthepressuremodeorthepositionmode.Pressuremodeisrecommended
这个选项决定印刷时用压力模式。
机器可以分别工作在压力模式或位置模式.推荐使用压力模式
Down-StopPos
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