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集成工艺报告
集成工艺silvoco软件仿真报告
电子101梁嘉诚1011002006
实验一软件和仿真实例学习
实验二单项工艺一:
淀积和外延
1、淀积
2、外延
实验三单项工艺二:
刻蚀
1、简单刻蚀
2、任意形状刻蚀
3、对材料刻蚀一定的厚度
4、干法(各向异性)刻蚀
5、湿法(各向同性)刻蚀
实验四单项工艺三:
离子注入和扩
1、离子注入
(1)、initsiliconc.phos=1.0e14implantborondose=1e13energy=70
diffusetime=30temperature=1000结深=0.700554
(2)、initsiliconc.phos=1.0e14implantborondose=1e14energy=70
diffusetime=30temperature=1000结深=0.775545
(3)initsiliconc.phos=1.0e14implantborondose=1e13energy=80
diffusetime=30temperature=1000结深=0.883432
(4)、initsiliconc.phos=1.0e14implantborondose=1e13energy=70
diffusetime=40temperature=1000结深=0.87786
(5)、initsiliconc.phos=1.0e14implantborondose=1e13energy=70
diffusetime=30temperature=950结深=0.776654
(6)、initsiliconc.phos=1.0e14implantborondose=1e14energy=70
diffusetime=30temperature=950结深=0.72038
2、离子扩散(书本上第471页第一题)
initsiliconc.phos=1.8e16diffusetime=30temperature=950c.boron=1.8e20
结深=0.7282443
实验五单项工艺:
光刻
1、掩膜及成像的光强分布
2、光刻胶光刻
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