施工方案.docx
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施工方案
厦门大学氮气供气系统
技术要求
一;本工程主要范围包括:
1.高纯氮气(GN2)管线自汽化器出口阀门(法兰口)3"SUS316-BA管.分支一路2"SUS316-BA管至N2纯化器;分支一路1"SUS316-BA管到原料合成品车间,1层-3层内预留1/2"使用点共计3个(需要有球阀、调压阀和压力表,设计压力80-150psi),
分支一路1"SUS316-BA管到原料合成品车间(甲类),1层-6层内预留1/2"使用点共计6个(需要有球阀、调压阀和压力表,设计压力80-150psi);分支一路1/2"SUS316-BA至甲类原料仓库(需要有球阀、调压阀和压力表,设计压力80-150psi);另外包括N2纯化器及H2气瓶架的吹扫和气动工艺用气。
(详见图纸)
2.超高纯氮气(PN2)管线自氮气纯化器出口端2"SUS316L-EP至纤维制造车间内一层分支3个1"使用点(需要有波纹阀、调压阀和压力表,设计压力80-150psi);分支1-1/2"EP管至纤维制造车间二层内设备2个1"使用点(需要有波纹阀、调压阀和压力表,设计压力80-150psi);(详见图纸)。
3.氢气管线自H2气瓶架氮气纯化器再生使用点,H2管线使用1/4"SUS316L-EP管,包括H2气瓶架设备。
(见图纸)
4.一台氮气纯化器设备的附属系统配管(GN2,H2,VENT等),VENT管使用SUS304-BA管,气瓶架及纯化器排气管路经阻火器室外高处放空。
二;气体管路压力及纯度要求:
2.1GN2管路设计压力<=1.2MPa,纯度为5N;实际纯度跟氮气供应厂家相关。
2.2PN2管路设计压力<=1MPa,纯度为9N;实际纯度跟氮气纯化器设备供应厂家相关。
2.3H2管路设计压力<=0.8MPa,纯度为5N;实际纯度跟氢气钢瓶供应厂家相关。
三;材料数量及品牌要求.详见附件材料表
备注:
1.付款方式:
按招标文件及合同约定。
.
2.材料采购周期:
收到订单后20天
3.施工周期:
到货后20天内完工
4.质保期:
完工验收后24个月。
保固期内如管路、阀件出现故障12小时到达现场处理。
如若厂家需要,可安排看现场。
四;特气管道系统施工规范
1.一般规定
1.1本公司所属气体工程之施工图面,须经发案人员签和无误后,方可进行施工。
1.2本气体管道工程应遵照本规范及所附设计图样施工,如规范及设计图样未有详细注明之处,而为一般工程上或技术上惯常所必须者,应供给或施工,不得推诿。
1.3厂商负责工程材料之管理,为存放之区域及存放方式由业主提供。
1.4施工进度表及材料进场计划表需每天下班前更新并提供给甲方相关负责人。
2.器材
2.1气体管道:
高纯气体管道采用EP及不锈钢管(附证明),并使用同材质管类配件,一般气体采用BA级不锈钢管(附证明)并使用同材质管类配件,
2.2开关阀:
采用SUS316L材质,使用流体温度为-10℃~80℃。
2.3调压阀:
采用SUS316L材质,使用流体温度为-40℃~65℃。
2.4过滤器:
采用SUS316L材质,其过滤能力应在0.003UM(含)以上。
3.物料控制
3.1物料接收
3.1.1厂商须指派人员管理物料。
3.1.2有物料皆须保持原出厂包装直到需使用时才可拆封。
3.1.3装设HEPA环境下进行拆封及材料品质检视。
3.1.4批材料于到货时须附上到货材料清单。
到货材料清单须包含以下内容:
到货日期、运输工具班次号码材料、项目说明、数量、遗失或损坏零件、送交人员。
3.1.5到货材料清单遗失,则须等后至供应商提供材料清单后再将材料入库。
3.1.6重覆收到未附材料清单之材料。
供应商须针对交货管理提出说明。
3.1.7料清单须妥善收存已供日后查询,若材料有遗失情况承包商必须负责。
4.收货区及退货区
收货区及退货区须于第一批货到前设置完成,且须依下列说明设置。
4.1须设位于干净及封闭区域,且与外部环境隔离,并闭免风吹雨打。
此区域须有良好之通风,温度须以冷气机保持在25℃。
4.2供适当的安全防护措施。
4.3物料储存货柜不可有破损情形。
4.4退货区的设置,须标示一固定区域,不可使用临时场所。
。
4.3.3材料购买
4.3.3.1客户须确认每批材料均附上材质报告,及物质安全资料表。
4.3.3.2依照定单所列规格确认所订购材料符合规格。
4.3.3.3于交货文件上清楚标示定单号码便于日后查询。
4.3.3.4将交货文件归档便于日后查询。
4.3.3.5将合之供应商资料归档便于日后查询。
4.3.4物料管理报告
4.3.4.1厂商须提供物料管理报告。
4.3.4.2提供物料管理周报和月报。
4.3.4.3厂商须管理物料管理报告资料。
4.4施工品质管制
4.4.1厂商指派品质管理人员控制人员施工品质。
4.4.2品质管理人员须确实执行施工品质控制之管理工作。
4.4.3所有焊接人员于焊接前均需须制作焊接试片,并交有品质管理人员检视,若试片未达到标准则品质管理人员须确实检查并按施工步骤直至符合标准为止。
4.4.4品质管理人员须负责完成工作之检查,包括保压及不纯物分析测试。
4.4.5品质管理人员须逐项查核检视配管管路系统并予以记录。
4.4.6若测试结果未达标准须经修正后重新测试。
4.4.7于测试开始前承商应将测试设备规格及校正资料由业主核可。
4.4.8所有测试程序须依照测试规范执行。
4.4.9测试结果合于标准,承商应制作测试报告并会同业主确认后由业主签发测试完成证明。
5.安装
所属工程,其材料须经检查合格后,方可施工。
除另有规定者外,本工程安装须按下列规定办理。
5.1工作安全、环境。
5.1.1本项目必须配备合格的、有特气施工安全管理经验的安全员在现场。
(由国家发放的许可证明)
5.1.2在工作现场须配有一临时性洁净棚,且所有配管人员工作的操作基本上必须在此区域内完成,以避免不当之污染。
5.1.3临时性洁净棚:
此洁净棚房境必须控制在以下条件:
微尘数目(静态数,粒子大小﹥0.3UM者)
位置洁净度
库房100000
切割工作区域100000
焊接工作区域10000
条件:
于焊接工作区域内,其温度为21℃,相对湿度为65﹪以下。
气流:
每小时循环5~10次。
环境:
此洁净棚需足以阻绝微粒;油污及其他外来物资。
经由棚内空气的循环及过滤以控制落尘量。
在该区域工作的施工人员须穿着无尘衣,鞋。
强制性穿戴手套:
再进行每一个操作时必须戴上干净棉制手套,严禁使用裸手操作。
5.2焊接人员的资格认定
5.2.1每一位负责焊接之工作人员必须取得不锈钢职业焊接技术检定合格,并经由国家发放焊接的许可证明,方可执行。
5.3气体管线材料的处理
5.3.1管线与零件的清洁,所有管子与其零件需於制造后先予以清洁并以管帽盖住开口处,封装处,始可运送至现场,任何管子与零件在弯管,切割及焊接诸如此类工作进行前,须确定其清洁度可维持的情形下可拆封。
5.3.2气体管线装配检查
5.3.2.1外观的目检工作
检查管子,配件,阀头,阀兰,螺钉,螺帽,垫片及其附件与工程图相符,以确定所完成的工作无误,并贴上一指示流动方向,气体名称的标示。
确定支撑管线的支架安置无误。
确定各气体的管线确实连接到生厂机台设备的每一须求点。
确定配管的工作不会损害其本身维护能力及美观程度。
检视其检验报告及管线的标记,以确定管线的确依照所设计的规格及标准配设。
以肉眼目检管子,配件,阀头,阀兰,螺钉,螺帽,垫片及其附件之外表,以确定其没有遭受外来的损害,表面腐蚀或发生裂痕。
5.3.2.2焊接点的目检工作
焊接部分不可过度凹陷于整各金属底部。
金属底部不可有阶梯状凸起。
5.3.2.3锁入配件的外观目检工作
确定锁头安装与规格相符无误。
确定所有的配件均正确的旋入无误。
确定所入配件的配管其弯管的半径须足可容许其帽盖的移出。
确定任何一跟短管均不会被过度地被安装。
5.4配管安装
5.4.1制作部分
5.4.1.1管材预备。
5.4.1.2管材于切割完成后须清洁,端面平整无毛边。
5.4.1.3避免碳钢类金属直接碰触不锈钢管。
5.4.1.4切管器必须具备圆盘式刀片且须锋利及干净,车床式GF或TRI-TOOLCUTTRE或同等设备。
5.4.1.5确实将吹净(PURGE)管线接于管材末端,以避免切割之碎削残留。
5.4.1.6任何之拆封组件及加工切割后管材须存放于CLASS10000之无尘室存放。
5.4.1.7不可对垂直方向之管材切割,如为特殊原因,则必须提出说明。
5.4.1.8使用倒角器清除管外毛边,倒角时不可使用太大力量,倒角完成后须以无尘布以IPA沾湿后察试管路切口。
5.4.2吹净
5.4.2.1焊接时使用之气体为氩气,其纯度须达99.999%,不纯物须于10PPB以下。
5.4.2.2于必要时为达吹净气体纯度需求时的使用气体纯化器。
5.4.2.3吹净用之气体分流筒须使用高洁净度阀件,调压阀及0.01UM过滤器,过滤器必须置于最末端气体出口位置。
5.4.2.4所有吹净管路须为不锈钢并符合高纯度需求,管路所有接点皆不可暴露与大气中以而造成污染。
5.4.2.5于焊接开始前及过程中皆须持续吹净管路,吹净气体及外部遮罩气体须持续供应至焊接完成后且焊接部位冷却为止。
5.4.2.6吹净气体之流量及压力须参照合格焊接试片之设定参数表来设定并于每次焊接前再次确认。
5.4.2.7每次于焊接告一段落后须以塑料管盖于管末端盖上并于盖上钻一小孔使气体以2—3SCFH的流速自管中流出。
5.4.3焊接
5.4.3.1焊接(不锈钢,316L及304L管件)
5.4.3.1.1不同批号之管子不可焊接。
5.4.3.1.2于焊接前须确保管子已对齐后再将焊把装上,使用专用夹块来固定及对准。
5.4.3.1.3使用水平仪来校正管路之水平。
5.4.3.1.4安装高纯度氩气并利用阀门来控制氩气流量吹净管路,尽快完成安装吹净管路以避免污染。
5.4.3.1.5确认待焊接管路已吹净。
5.4.3.1.6使用压力表衔接于末端确保管内背压。
5.4.3.1.7开始焊接,于焊接完成后须持续吹气直至管路冷却为止。
使用焊接评估表评估焊接结果。
5.4.3.1.8待确认焊接结果合格后,焊接者须于焊接位置附近标示代号及日期。
5.4.3.1.9将焊接记录及试片交由厂商品管人员留存。
5.4.4切管
5.4.4.1切管机
5.4.4.1.1作业前,检查作业环境地板是否已铺设塑料布,以保护地面;准备无尘室专用吸尘器及无纤维布等用具。
5.4.4.1.2切管机于不使用时,须将电源线拔除,以防误触启动开关,造成伤害。
5.4.4.1.3进行切管作业时,操作人员须将机台防尘套确实盖至定点。
5.4.4.1.4使用擦拭布以稀释IPA沾湿后,擦拭欲切割位置两侧约2.5公分范围。
5.4.4.1.5以签字笔标示切割位置。
5.4.4.1.6选择合适管外径之夹具,松开并取下机台上固定螺帽,将夹具置入并旋紧固定螺帽。
5.4.4.1.7将夹具旋开至可将管子置入位置并将管子置于距离机台1/16″,之后旋紧夹具固定管子。
5.4.4.1.8轻轻压下开关使锯片慢慢旋转并同时旋转锯把,锯片旋转速度须不致使锯齿咬入管材。
5.4.4.1.9移动管子位置至欲切尺寸外约1/32″位置。
5.4.4.1.10轻轻旋转进刀钮直至锯片接触管子,渐增进给速度直至管材切断,放开控制按钮使锯片慢慢停止,将管件倾斜使碎屑掉落。
5.4.4.1.11将固定螺帽松开并取下管子。
5.4.4.1.12使用高纯度氮气吹净管子,之后使用塑料管帽盖住管子两端并以物尘室专用胶布缠绕,将剩于管子以塑料代包装并以无尘室专用胶布缠上封口。
5.4.4.2手工切口
5.4.4.2.1使用切管器切管前,先量测所须管长,并作一标记。
5.4.4.2.2注意手动切管时,以夹管器管材,切管器刀锋于于标记处进刀,沿着管材旋转切管器,每次进刀量不得过大。
5.4.4.2.3管材欲将切断,取下切管器,改以双手折断管材。
以防止端面于切断后内孔端形成毛边。
5.4.4.2.4切断管面检视内孔时,管材切断面向下形成一斜角,再由下往上看;以防止切屑进入孔内附着。
5.4.4.2.5管材于切断后,检视切断部外径不得产生螺旋刮痕。
5.4.4.2.6确认上述无误后,将管口以盖板封闭。
5.4.4.3端面
5.4.4.3.1切管作业完成后,管材切断部会形成锥状并有毛边产生。
5.4.4.3.2使用端面机修整切断部,致形成一平面以利焊接。
5.4.4.3.3启动端面机确认端面刀旋转正确。
5.4.4.3.4将管材封口拆除。
5.4.4.3.5以端面机固定夹扣住管材;管材截断面距端面刨刀约1~2mm固定。
5.4.4.3.6端面时,务使管材与刀口成垂直状。
5.4.4.3.7启动端面机。
5.4.4.3.8于停止时,先使端面刀退离工件端后停止。
5.4.4.3.9将管材封口装回。
5.4.4.3.10为避免管内划伤,注意端面时间。
5.4.4.4倒角
5.4.4.4.1管材截断面于于端面修整后,以倒角修除毛边。
5.4.4.4.2启动倒角器确认倒角刀旋转正确。
5.4.4.4.3将管材封口拆除。
5.4.4.4.4将倒角器置于截断面孔端顶住。
5.4.4.4.5启动倒角器
5.4.4.4.6于停止时,先使倒角刀退离工件端后停止。
5.4.4.4.7将管材封口装回。
5.4.4.4.8为避免管内划伤,注意倒角时间。
5.4..5焊接
5.4.5.1.1管材准备
5.4.5.1.1.1将焊接管材施以切断、端面、倒角程序,使两焊接工件之管壁相同。
5.4.5.1.1.2将焊接管材通以使用经0.01um过滤的氩气设定好的流速循环通入管中吹净。
5.4.5.1.1.3确认焊接管材材质相同。
5.4.5.1.1.4确认焊接管材之焊接端以无疑(无毛边、以端面、管内无碎屑。
)
5.4.5.1.1.5将管之两端以盖板封闭,以隔绝大气中之尘埃水气及不纯物,影响焊接品质。
5.4.5.1.2假熔
5.4.5.1.2.1将焊接管材拆封,通以使用经0.01um过滤的氩气设定好的流速循环通入管中作为内部保证气体。
5.4.5.1.2.2将焊接之两管中心对准后沿圆周各假熔3~4处。
5.4.5.1.2.3继续通以氩气保持循环状态,并使焊接处基底降温。
5.4.5.1.3焊接
5.4.5.1.3.1将焊接管材通以使用经0.01um过滤的氩气设定好的流速循环通入管中作为内部保证气体。
5.4.5.1.3.2调整钨棒与焊接管材之间距。
5.4.5.1.3.3调整钨棒与焊接端之间距。
5.4.5.1.3.4试焊,确认焊道运行无误。
5.4.5.1.3.5调整各项限之数据。
5.4.5.1.3.6调整前吹气与后吹气时间。
5.4.5.1.3.7调整内部保证气体与外部覆盖保证气体之流量。
5.4.5.1.3.8启动焊接机。
5.4.5.1.3.9观察电流与电压之稳定度。
5.4.5.1.3.10焊接结束,调整内部保证气体之流量。
5.4.5.1.3.11检查焊道有无瑕疵。
5.4.5.1.4表面清洁
5.4.5.1.4.1物理清洁:
以铜刷(钢刷)刷除表面氧化物。
5.4.5.1.4.2化学清洗:
以电解方式清除表面氧化物。
5.4.5.2弯管
5.4.5.3管线连接
5.4.5.3.1SWG接头安装
5.4.5.3.1.1施工前,检查SWG型接头之各元件是否齐全;元件包含接头本体X1个、母套头(Nut)X2个、金属箍套圈(Ferrule)X2组。
如下图:
5.4.5.3.1.2将配管管材裁减至所需尺寸,依序套上母套头、金属箍套圈。
5.4.5.3.13将管材连接端确实套入接头本体,并顶至内部底端;用手旋紧母套头。
5.4.5.3.1.4旋紧后,以签字笔在母套头上之一面作标记;再以两支扳手分别夹住接头。
5.4.5.3.1.5本体六角承头部及母套头,施力旋转11/4圈,如下图:
5.4.5.3.2PT接头安装
5.4.5.3.2.1PT牙型接头一端为SWG型接头;另一端为螺纹接头。
5.4.5.3.2.2PT牙连接于机台前,须以TYPE-SEAL先行以渐进法缠绕于牙端3圈。
5.4.5.3.2.3连接机台时,先以手旋紧接头,再以扳手施力旋紧。
5.4.5.3.2.4连接管路与SWG型接头端;于母套头内置入Ferrule后插入管件,再以手旋紧母套头,旋紧后,以扳手施力旋紧11/4圈。
5.4.5.3.3VCR接头安装
5.4.5.3.3.1VCR型接头配件(GLAND、NUT…)须注意其倒角光滑面不得污损、为使用时须加封,以防碰损污染。
5.4.5.3.3.2安装时,于连接处放置GASKET后,以手旋紧。
5.4.5.3.3.3旋紧后,再以扳手施力旋转1/8圈,如下图:
5.4.5.3.4Flare接头安装
5.4.5.3.4.1Flare型接头多用于机台供气端;施工前,确认欲接管路来源是否正确。
5.4.5.3.4.2检查开关阀、调节阀是否关闭。
5.4.5.3.4.3管材裁减至所需尺寸后,套上套头。
5.4.5.3.4.4以扩孔器将欲接端管材扩张至所需尺寸后,插入机台接头端。
5.4.5.3.4.5以手旋紧套头。
5.4.5.3.5Flange接头安装
5.4.5.3.5.1Flange接头用于大型阀件连接处;施工前;检查Flange是否瑕疵,并确实清洁材料表面。
5.4.5.3.5.2将FLANGE以氩焊焊接于阀件连接处,将管子插入法兰后于法兰正面2~3mm的深度处实行假熔。
5.4.5.3.5.3焊接时需注意与工材连结呈垂直状,焊道不得有气孔、焊渣及龟裂细纹产生、外部不允许因过火导致色异。
5.4.5.3.5.4组合各阀件时,与阀件间置入一TeflonPacking,再用手将螺栓固定;螺栓固定方式以对角法依序装置。
5.4.5.3.5.5调整组合阀件之水平,使成以直线;再以开口扳手依对角方式旋紧各螺栓。
5.4.5.4管线支撑
5.4.5.4.1阀件支撑
5.4.5.4.1.1阀件支撑的材质需为不锈钢制品,且籍由装配在天花板、墙缘、梁柱及设施等之上可固定阀件。
5.4.5.4.1.2阀件支撑的摆设位置需依现场实际状况与以量测并架配之。
5.4.5.4.1.3阀件支撑需考虑管线工作处、气体种类、维护及配设之美观程度等。
5.4.5.4.1.4阀件之间的架设间距须考虑平行架设之预留量。
5.4.5.4.1.5阀件支撑前、须先确认阀件配置点,视施工环境需求加入辅助配件如T型板固定、L行角钢、……。
5.4.5.4.1.6阀件支撑须考虑日后维护之拆装。
5.4.5.1.7阀件支撑是以调压阀为中心,再连结其它阀件。
5.4.5.1.8阀件支撑固定时,须注意调整舆管路呈一垂直状,不得歪斜。
5.4.5.4.2管路支撑
5.4.5.4.2.1支架的材质需为不锈钢制品,且籍由装配在天花板、墙缘、梁柱及设施等之上可固定管线。
5.4.5.4.2.2支架的摆设位置需依现场实际状况予以量测并架配之。
5.4.5.4.2.3配管时需考虑管线工作处、气体种类、维护及配设之美观程度等。
5.4.5.4.2.4管线之间的架设间距至少为25MM以上。
五;测试验收.
5.1焊接合格标准
5.1.1焊接合格标准(不锈钢)
5.1.1.1焊接强度:
焊道需尽量接近平整,其焊道之高低变动以管厚之%10为基准。
5.1.1.2外部焊道宽度:
外部焊道宽度为管厚之1.5到3倍,变动以管厚之1倍为基准。
5.1.1.3内部焊道宽度:
内部焊道宽度最少需与管厚相同。
5.1.1.4毛孔:
不可存在可目视的毛孔。
5.1.1.5不纯物:
不纯无宇管道上需小于0.2mm且每50mm之距离不可超过2点。
5.1.1.6针状结晶:
不可存在可目视的针状结晶。
5.1.1.7龟裂:
不可发生龟裂。
5.1.1.8氧化:
管内部于焊接后焊道需不因氧化而产生变色,外部仅有些许变色情况,使用钢刷将外部变色部位刷除。
5.1.1.9泄漏:
若于必须情况下焊接管道需通过氦气测漏试验其合格标准为1×10-9atmcc/sec。
(氦气测漏试验一般用于特殊气体管路)
5.1.1.10拉力测试:
焊接强度需经拉伸测试其结果需大于等于母材强度。
5.1.1.11偏移:
对焊之偏移量需在±10%管厚以内。
5.1.2不合格焊接处理
5.1.2.1移除所有不合格焊接部分。
5.1.2.2于切除管路前需先行通知品管人员。
5.1.2.3开启供气系统上阀件进行吹扫动作。
5.1.2.4安装末端吹净管路,此为确保切管时避免微粒污染管路。
5.1.2.5切管工具需使用合格轮状切管器。
5.1.2.6当不合格焊接部分位于垂直管路位置时,则必须切除最接近之水平位置将其移除更换。
5.1.2.7管路之端面须使用合格端面倒角工具处理,处理后必须使用无尘布将管件擦拭干净
5.1.2.8重新焊接并将吹净气体调整回复至原来状态。
5.2管路测试
对一般气体及特殊气体之配管后,输送气体不纯物测试流程及合格标准作定义及说明。
5.3范围
针对主管路至各机台使用点之气体管路测试流程及合格标准做一说明,包括保压测试、氦气测漏、微粒子数测试、水份测试及含氧量测试。
5.4合格标准
a).保压测试――无压降产生
b).氦气测试――1.0×10-9atmcc/sec
c).微粒子测试――每立方尺少于10颗0.01μm微粒
d).水份测试――低于5ppb
e).含氧量测试――低于5ppb
f).测试用气体――氦气
5.5测试设备
a).压力表
b).氦气测漏机,最低侦测精度为1×10-11atmcc/sec,附泄漏率显示。
c).氦气钢瓶及喷枪。
d).微粒子分析计数器,侦测能力0.01μm。
e).水份分析仪,最低侦测精度为1ppb。
f).含氧量分析仪,最低侦测精度为1ppb。
5.6分析测试步骤
6.6.1保压测试
此为的一项须完成之测试。
测试用气体输入测试管路中,并装上压力机录器且保持压力为使用压力的1.15倍至少24小时。
管内压力必须保持一定不可有压力下降之现象,若有压力下降之现象,阀件,调压阀,传送器,过滤器,管路,接头及焊接位置须修正至无压力下降情况。
若测试管路输送气体为非制成用气体,如一般氦气(GeneralNitrogen),干燥压缩空气(CompressedDryAir),其测试用气体使用原供应气体即可。
6.6.2氦气测漏
保压测试为测试一般性管路泄漏,而氦气测漏及针对特殊气体管路为更进一步确保无泄漏所作之测试。
管路内以氦测漏机之真空Pump抽掉管内气体,管路那将抽至真空度为1.0×10-9atmcc/sec。
再以氦气每隔30秒喷于每个阀件,调压阀,传送器,过滤器,管路,接头及焊接位置,30秒之间隔是为了方便确认泄漏的位置,若侦测泄漏此时测试机将发
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