离子注入QC操作表单.docx
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离子注入QC操作表单.docx
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离子注入QC操作表单
GSD均匀性表单
GSD注入机QC记录表
文件编号:
JSDG-04-09-510-A
设备名称
QC项目
GSD均匀性检测
测量设备
RS55
GSD
注入条件
AMU=11
DOS=1E14
ENGER=60KEV
STD规范
STD≤1.5%
频率
1次∕1周、及设备PM、设备故障
日期
R∕□MAX
R∕□MIN
STD
操作者
是否合格
GSD颗粒表单
文件编号:
JSDG-04-09-511-A
QC项目
GSD颗粒测试
GSD
测量仪器及菜单
PRTC02测试菜单:
BARE-0.3UM
工艺菜单
005#
规范
≤100个/片(≥0.5um)
频次
1次/2周
注意事项
1.表格要及时填写2.QC过程中遇到问题要及时反映3.“是否通过”一栏通过填“P”,否则填“F”4.设备维护等后的QC备注要标明
日期
测试人员
测试前
测试后
测试前后差值
是否合格
超标原因及采取解决措施
备注
≥0.5
≥0.5
GSD注入机QC记录表
文件编号:
JSDG-04-09-512-A
设备名称
QC项目
GSD真空度检测
测量设备
自带的热偶规和离子规
规范
TC6≤120mtoorG3≤5e-6toor
频率
1次∕1天、及设备PM、设备故障
日期
TC6
G3
操作者
是否合格
备注
GSD浓度表单
GSD注入机QC记录表
文件编号:
JSDG-04-09-513-A
设备名称
QC项目
GSD浓度检测
测量设备
RS55
GSD
注入条件
AMU=11
DOS=1E14
ENGER=60KEV
规范
R□=(550-600)Ω∕□
频率
1次∕1天、及设备PM、设备故障
日期
R∕□MAX
R∕□MIN
MEN
操作者
是否合格
GSDE-SHOWER-primaryD表单
GSD注入机QC记录表
文件编号:
JSDG-04-09-514-A
设备名称
QC项目
GSDE-SHOWER-primary检测
测量设备
自带的计算机测试
规范
理论实际差值≤±3
频率
1次∕1天
日期
理论值
实际值
差值
操作者
是否合格
1080均匀性表单
1080注入机QC记录表
文件编号:
JSDG-04-09-515-A
设备名称
QC项目
1080均匀性检测
测量设备及菜单
RS55
1080
注入条件
AMU=31
DOS=1.5E16
ENGER=50KEV
STD规范
STD≤1.5%
频率
1次∕1周及设备PM、设备故障
日期
R∕□MAX
R∕□MIN
STD
操作者
是否合格
1080颗粒表单
文件编号:
JSDG-04-09-516-A
QC项目
1080颗粒测试
1080
测量仪器及菜单
PRTC02测试菜单:
BARE-0.3UM
工艺菜单
005#
规范
≤100个/片(≥0.5um)
频次
1次/2周
注意事项
1.表格要及时填写2.QC过程中遇到问题要及时反映3.“是否通过”一栏通过填“P”,否则填“F”4.设备维护等后的QC备注要标明
日期
测试人员
测试前
测试后
测试前后差值
是否合格
超标原因及采取解决措施
备注
≥0.5
≥0.5
1080真空度表单
1080注入机QC记录表
文件编号:
JSDG-04-09-517-A
设备名称
QC项目
1080真空度检测
测量设备
自带的热偶规和离子规
规范
TC6≤120mtoorG3≤5e-6toor
频率
1次∕1天、及设备PM、设备故障
日期
TC6
G3
操作者
是否合格
备注
1080浓度表单
1080注入机QC记录表
文件编号:
JSDG-04-09-518-A
设备名称
QC项目
1080浓度检测
测量设备
RS55
1080
注入条件
AMU=31
DOS=1.5E16
ENGER=50KEV
规范
R□=(10-12)Ω∕□
频率
1次∕1天、及设备PM、设备故障
日期
R∕□MAX
R∕□MIN
MEN
操作者
是否合格
1080E-SHOWER-primary表单
1080注入机QC记录表
文件编号:
JSDG-04-09-519-A
设备名称
QC项目
1080E-SHOWER-primary检测
测量设备
自带的计算机测试
规范
理论实际差值≤±3
频率
1次∕1天
日期
理论值
实际值
差值
操作者
是否合格
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- 离子 注入 QC 操作 表单
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