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BG-
PD-
BC-
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CDA-
sec-
FMCS-
PV・PCX.
ULTRAPUMWATER
LIFESAFETY
CLEANROOM
PROCESSCOOUNGWATER
MECHANtCAtELECTRICALftPLUMBING
WASreWATCfttrcatiacnt
SFeCIALlTVOASeULKGASPnOCESSDRAINBULKCHEMCMGASINSULATEDSWITCHOCARCLEANDRYAIR
SCCUfUTY
FACTORYUONrrORINOANOCONTROLSYSTEM
PROCESSVACUUM
PftOCESSEXHAUST
1.廠務系統功能
7.1水系統在製程中的功能
製程機台冷卻
補水/清洗/稀釋
原水/一般用水
冷卻用冷源/空調用冰水
DI回收/冷凝回收/再生使用
1.2氣體系統在製程中的功能
搬運器/儀器之氣壓缸/…般沖吹
Purge/CDABackup/潔淨沖吹
Purge/空間塡充/超潔淨沖吹
製程需求/Purge/空間塡充/超潔淨沖吹
製程Chamber^充需求/乾蝕刻製程需求
1.3化學系統在製程中的功能
Chemical化學藥品
清潔清洗/濕式蝕刻製程需求
7.4真空系統在製程中的功能
PumpLine製程高真空
1.5排氣/排水系統在製程中的功能
Chambei•製程轉換之高真空建立
機台製程使用之廢Dl/Chemical排放
2.1水系統使用材質
SUS304禁油處理/高壓軟管
SUS304
CPVC/PVDF/PFATube
2.2氣體系統使用材質弋、锵氣夕巒台端部可能用Teflon軟管)
SUS316LEP/PH2有時用雙套管(EP/AP)
23化學系統使用材質
2.4真空系統使用材質
2.5排氣系統使用材質
不銹鋼TeflonCoating風管(Tefpass)
2.6排水系統使用材質
3.廠務系統流程
3•2冰水系統簡略流程
冰水主機
■■■—
冷媒循環
3.3純水系統簡略流程
CityWatera來水
DMFilter去除鈣鎂
Decarbonator
去除CO2
WATower去除碳無
SATowerir-K去除碳昭U?
ROTankRO進水槽
MixedBed去除SiO2
a
Permeate
Pit逆潼透底槽
ROUnit逆潑诱腺
SafetyFilter過減器
uvsterilizer紫外練殺菌
HeatExchange熱文換&
Membrane
Degasifier去除02
◊
UPWTank純水備槽
Cooler冷卻器
uvOxidizer破壊有機鏈
UFUnIt超限過測澳
回水
3.4自來水/回收水系統簡略流程
自來水
回收水
I自來水外g|
I空氣中水份I
收表倆離阀
[今盤/空調朵耳
供應管線
回收管線I
回收水槽
使用點
使用點I
3・5CDA/®
2/PN2系統簡略流程
CDA
母壊韌漏務注臣草8•£
ouiqSuidinnj
磊螫魁剧務參蓉將章豊/£
3.9化學系統簡略流程
Chemical
化學品供應槽車
化學品儲槽
傳送系統
◎
供應槽
分配系統
腫液就槽
回收管線
VMB/P
化學管路
3.10廢水收集系統簡略流程
DrainPipe
3・11廢水處理系統簡略流程
WasteWaterTreatment
PH
調整槽
污泥收集槽
o
W
運棄
曝氣槽
PH反應槽
沉澱槽
澄清槽
膠羽凝結槽
Polymer
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- 系统 概述