RENA刻蚀换液作业指导书.docx
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RENA刻蚀换液作业指导书
文件分发明细:
正本(原件):
■DC文控中心
副本(复制件):
□AD行政部□CP综合计划部□DC文控中心□DE发展协作部
□DS产品设计与标准化部□ED设备部□EHS环境/健康/安全部
□FI财务部□HR人力资源部□IC内控部□IE工业工程部
□IN信息部□IR投资者关系□LE法律顾问室□LO物流部
□MA市场部□PR工艺部□PU采购部□QU质管部
□MU生产部□MS生产支持部□RD研发中心□SA销售部
□SU监察委员会□PD项目部
其它:
01
版本
Rev.
编写人
Preparedby
编写日期
PreparedDate
审核人
Checkedby
审核时间
CheckedDate
批准人Approvedby
批准日期
ApprovedDate
目录
一.目的…………………………………………………………………………003
二.范围…………………………………………………………………………003
三.职责…………………………………………………………………………003
四.名词定义…………………………………………………………………………003
五.内容…………………………………………………………………………003
六.相关文件…………………………………………………………………………010
七.附录…………………………………………………………………………010
1.目的:
规范操作,为RENA正确换液操作规范提供依据。
2.范围:
适用于车间RENA刻蚀换液工序。
3.职责:
3.1负责RENA刻蚀的换液生产作业
3.2负责发现作业过程中设备、工艺异常状况时的反映
4.名词定义:
无
5.工作程序:
5.1RENA刻蚀换液图片示例与操作指导说明
5.1.1
首先要把汗布手套带好
然后带好PVC手套
穿戴好防护服
带好防毒面具
衣服和防毒面具穿戴整齐
带好防酸碱手套
(注意:
带第二只手套时不能把带好手套的那只手碰到另一只手套,必须要别人帮忙带好)
检查所有防护措施,尽量不要使皮肤漏在外面
拧开后要慢慢取出抽液管,防止溅出的酸对身体伤害
换酸之前再次确认化学柜和化学桶的标签同一
慢慢拧开化学桶上的抽液管
在取出抽液管时一定要使抽液的酸全部流入化学桶中
把化学桶盖盖好,防止在移动时溅出酸
把取出来的抽液管小心的挂在旁边的挂钩上,一定要挂好
5.1.2
拿扳手打开化学桶上的盖子
将新的化学桶移入化学柜中,注意轻摆轻放,同时保证桶的标签朝外(方便查看)
把抽液管逆时针转动几圈,防止拧紧的时候管子会缠在一起
从挂钩上慢慢取抽液管插入化学桶中
把盖子拧紧,防止漏气,液体打不上去
再次确认盖子是否拧紧
把管子整理一下,防止全部缠在一起,液体打不上去,流通不畅
再次确认所换好的酸是否一致
换好以后把门关好
把脱好的防护用品全部挂起来
把换下来的空化学桶全部集中起来放置
全部搞好了以后必须洗手
5.1.3
注意事项:
看到地方有液体,不带手套不要去处理
看到液体
(注意:
不管是水或酸都要把它看作为酸来处理)
1.未经过专门培训的人员禁止化学桶更换操作;
2.正常生产情况下,必须待设备报警显示外部供应桶为空时,再进行化学桶的更换;
3.在腐蚀性的化学制品工作中需要配备专门的防护用具,建议使用抗腐蚀性的挡板/衣服,鞋,手套和护目镜;
4.为应付意外事故,确保配备紧急冲洗设备对受侵蚀身体部位进行冲洗;
5.决不能单独更换化学用品;
6.一切换液程序必须按照正规操作规范进行
7、注意事项:
不管在任何情况下,每道工序在生产前都要有检查片子的习惯。
6.相关文件:
无
7.记录:
无
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- 特殊限制:
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- 关 键 词:
- RENA 刻蚀 作业 指导书
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