白光干涉仪(原理)--ppt课件.ppt
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光学三角测量CSM:
共焦扫面显微镜PSI:
移向干涉测量法WSI:
白光干涉法AFM:
原子力显微镜,三维图像的比较,根据测量技术特征,产品主要功能,三次元形状测量表面粗糙度(Ra,Rq,Rp,Rv,Rt,Rz)高度,段差,幅度测量(数纳米到最大5mm)关心领域信息(体积,断面积)2D测量,产品主要特征,高度方向测量分辨率0.1nm的高分辨率与倍率无关的分辨率固定(Z轴)使用方法简单,测量快速非破坏性,无样品破损反复性及再现性优秀测量容易,HighAccuracyNon-Contact3DSurfaceProfiler,“使用白光干涉仪的纳米分辨率三维形状测量”,NanoView系列(NV系列),更精确!
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被测物的反射度对象物体的反射度小,照射到物体的大部分都会被吸收,反射光强度会减少,干涉信号微小或不会出现干涉现象。
(太阳光下那些物体程黑色是表示该物体吸收光,视为红色是主要反射红外线领域的光。
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